电容膜片真空计的来源及性能介绍

    真空计是高精度总压强测量和控制的*选择。为达到优异的半导体和等离子过程要求的性能，将CDG100D真空计的温度控制于100度。全量程范围从100毫乇至1000乇，配有全部常用的法兰型式和Fieldbus接口，和提供线性的0至10伏与气体类型无关的压强讯号。INFICON电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片。陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好，从大气压恢复快，预热时间短和超长的使用寿命。INFICON CDG是高质量，成本效益好的压强传感器，用于半导体，等离子和各项要求高的真空应用中。