簡(jiǎn)要介紹了金剛石薄膜的發(fā)展，總結(jié)了金剛石薄膜的幾種主要制作工藝，并對(duì)各種工藝的優(yōu)，缺點(diǎn)進(jìn)行了分析．結(jié)合對(duì)金剛石應(yīng)用的討論，闡述了金剛石薄膜在工業(yè)領(lǐng)域中的應(yīng)用前景和發(fā)展趨勢(shì)．