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            真空计种类那么多,如何选择才?

            更新时间:2017-10-18      点击次数:4371

            真空计种类那么多,如何选择才?

            1皮拉尼真空计原理

            ·加热电阻丝,使之升温至需要的工作温度

            ·由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化

            ·热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系

            2衍生出两种类型的皮拉尼规

            1)稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度(INFICON PSG500

            2)稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)

            3气体的热传导,与下列提条件有关

            1)气体类型

            2)压力大小

            4皮拉尼真空计测量范围与精度

            测量范围(空气,氧气,一氧化碳,氮气):5 x 10-4 1000 mbar

            精度(氮气)

            1x 10-3… 100毫巴  ±15%

            5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴  ±50%

            100 ... 1000毫巴  ±50%

            5皮拉尼真空计的优特点

            灯丝部分在不影响精度与速度的情况下,加以zui大的?;?,

            大大延长了灯丝的使用寿命。

             

            6皮拉尼真空计具体型号

            ·PSG050/051

            ·PSG100-S  PSG101-S

            ·PSG500/500-S PSG502

            ·皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400 PCG410 PCG550

            1)有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起

            2)两种原理的规管全过程都工作

            3100 mbar—1000 mbar 使用薄膜规信号

            41 mbar– 100mbar 两规信号同时采用

            55x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号

            6)输出的真空度信号(电压)连续,无跳跃

            7皮拉尼真空计应用行业

            ·各种高真空泵的前级压力测量,如光伏、镀膜、等离子行业

            ·各种中低真空测量,如照明,冶金

            ·真空连锁控制,高真空计的点火开关控制,如PEG100

            ·PSG050可*替代TR211,PSG051可*替代TR216

            ·PCG400 PCG410(现在已升级为PCG550,PCG400/PCG410已经停产)与PSG500 基本相同,但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点,而且不受气体类型的影响,在真空炉,单晶炉,多晶炉,蓝宝石炉上广泛应用 

            ·PSG100 PSG101,与PSG500/PSG050基本相同,但以为具有通讯协议功能,在大系统中应用广泛

            二、电容薄膜规

            CDG025D/CDG045/100/160/200

             

            1电容薄膜规工作原理

            ·压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系

             

            ·通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度

            2电容薄膜规特点

            ·以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成

            ·在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量

            ·快速的预热和恢复时间,提高生产率

            ·的长期稳定性,再现性和重复性

            ·由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性

            ·对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定

            ·快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态

            ·一键按钮: 调零功能和设点调整

            ·抗腐蚀超纯陶瓷传感器

            ·能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象

            ·暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀

            ·对蒸气介质不敏感

            ·传感器屏蔽 ()延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命

            3INFICON陶瓷技术

            ·陶瓷技术的*性

            1)无记忆效应  2)陶瓷无疲劳问题  3)的温度补偿   4)的零点稳定性

            ·低使用成本

            1)非凡的使用寿命    2)无需隔离阀

            4Sky CDG025D测量范围 

            5加热型薄膜规

            6加热型优点

            ·零飘极小0.1%FS/年(干净真空环境)

            ·更高的精度

            ·环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响

            ·比工艺更快的预热启动时间

            ·快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV

            ·任意安装角度

            ·抗污染,可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

            7电容薄膜规的应用

            要求高的应用条件下,而快速的压强测量

            ·用于刻蚀,CVD、PVD、ALD半导体设备制造,如太阳能光伏行业的PECVD用的很多,刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多,抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627DINFICONCDG025D比较多,如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS626B13TDE627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH41179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3,国内用的好多PECVD设备上用的是INFICONCDG025D。

            ·资料贮存和显示器制造设备

            ·工业真空设备

            ·常用高精度真空测量

             

            三、热电离规

            1热电离规原理

            Richardson 效应: 高温灯丝发射电子,高能量电子撞击气体分子,气体分子的一个或多个电子被撞击出去,形成带正电的离子。

            1)带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出

            2)离子流的大小与气体压力成比例关系

            2两种类型热电离规

            3热电离型复合规

            ·HPG400

            ·BPG400/-SP/-SD/SR

            ·BPG402

            ·BCG450 B-A规,皮拉尼规,薄膜规三种型号复合在一起

            4优点及应用

            ·BPG

            测量范围宽,一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar

            精度高,*的重复性5%

            灯丝材料镀钇的铱丝有*的抗氧化能力,皮拉尼自锁?;?,使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。

            方便的校准调节

            注意事项:

            对气体有选择性

            抗污染能力弱

            普遍应用于从低到超高真空的测量

            在工业,半导体,研究行业应用广泛

            BPG402

            双灯丝,大大延长使用寿命

            电离规的工作可以自定义控制

            探头备件自带校准参数,保证精度与重复性

             HPG400

            电离规与皮拉尼的复合

            皮拉尼自锁?;さ缋牍?/span>

            电离规的工作启动点可以一定范围内自定义

            简易的校准功能

            相对便宜的价格

             BCG450

            可调的电离规工作起点

            的重复性

            的大气端测量

            四、冷电离规(潘宁规)

            1冷电离规原理

            通过气体放电方式产生电子,通过磁场使电子获得能量将气体分子电离。

            2潘宁规特点与应用

            ·测量范围:5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

            ·全金属密封

            ·无灯丝

            ·易清洗

            ·应用于普通的高真空测量

            3冷规复合规MPG400特点与应用

            ·冷规与皮拉尼规的复合

            ·测量范围广: 5x10-9-1000 mbar

            ·易于保养清洗

            ·无高真空灯丝,

            ·应用于普通高真空测量

            4冷规及复合规性能比较

            0755-26028990
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