英?？蹈春险婵占剖且恢止惴河τ糜谡婵占际趿煊虻囊瞧?，主要用于测量和监控真空系统的压力。它具有高精度、可靠性和多功能性等特点，被广泛应用于半导体制造、光学薄膜涂层、材料研究和其他真空相关的工业和科学领域。
1.热导法：通过测量两个热电偶之间的温差来确定气体的压力。其中一个热电偶受到加热元件的加热，而另一个热电偶则处于环境温度下。当气体分子撞击加热元件时，导致加热元件的温度升高，使得两个热电偶之间的温差发生变化。通过测量温差的变化，可以确定气体的压力。
2.电子离子阱：通过测量电子离子阱中的离子电流来确定气体的压力。当气体分子进入电子离子阱时，它们与阱内的电子发生碰撞，从而产生电离。这些离子被吸引到阱壁上的电极上，并形成一个电流信号。通过测量电流信号的大小，可以确定气体的压力。
特点：
1.高精度：具有高精度的压力测量能力，可测量从大气压到超高真空范围的压力变化。
2.可靠性：该真空计采用传感器和电子技术，具有稳定的性能和长寿命，可在长时间运行和恶劣环境下工作。
3.多功能：可根据需要进行不同的测量模式选择，如绝对压力模式、相对压力模式和泄漏率测试模式等。
4.易于使用：该仪器具有直观的操作界面和用户友好的功能设置，易于设置和读取压力测量结果。
5.数据记录和通信：配备数据记录和通信接口，可与计算机或其他设备进行数据传输和分析。
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1.半导体制造：在集成电路制造和半导体工艺过程中，用于监测各个步骤中的真空压力，确保生产过程的稳定性和一致性。
2.光学薄膜涂层：在光学薄膜涂层过程中，用于监测反射镀膜设备中的气体压力，保证涂层质量和效果。
3.材料研究：在材料科学和表面物理学研究中，用于监测和控制实验室中的真空环境，以确保实验结果的准确性和可重复性。
4.真空设备监测：可用于各种真空设备的监测和维护，包括真空泵、真空槽和真空封装设备等。
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