中真空至超高真空单真空计

Trigon™ BAG552中真空至超高真空单真空计

对于需要独立热离子规技术的应用，Trigon™ 系列中包含了采用单一技术的 Bayard-Alpert 热电离规 BAG552。BAG552 专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝，具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。

优势：

• 1、纯粹的 Bayard-Alpert 测量系统，适用于超高压和高压测量范围

• 2、双灯丝设计

• 3、电隔离电子设备，避免杂散电流

• 4、滑动发射模式，避免在切换发射流时出现压力跳跃和冻结现象

• 5、可移动校准数据芯片，延长了烘烤时间

• 6、设定点继电器

• 7、明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面

• 8、模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

• 9、可与 VGC50x 控制器系列配合使用

• 10、符合 RoHS 规范

• 典型应用：

• 1、半导体工艺中的压力测量

• 2、工业镀膜

• 3、高真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

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