ATM 至超高真空 TripleGauge®

Trigon™ BCG552ATM 至超高真空 TripleGauge®

TripleGauge® BCG552 在一个传感器法兰中集成了 3 个真空传感元件。这款新型 TrigonTM 系列的旗舰产品具有极宽的测量范围，从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 传感器，BCG552 可用于压差测量，并在多个应用中用作真空开关。支持的 Bayard-Alpert 双灯丝在 UHV 和 HV 范围内具有出色的精度、可重复性和使用寿命，而微型电容式隔膜真空计在 ATM 范围内具有出色的精度，并且不受气体类型的影响。

优势：

• 1、3 + 1 个传感元件，测量范围极广，降低成本，节省空间

• 2、双灯丝设计

• 3、独立于气体类型的压力测量（10 托以上）为任何混合气体提供更可靠的负载锁定控制。

• 4、压差测量消除了与大气压力变化有关的不确定性

• 5、自动高真空皮拉尼调节减少了操作员的干预

• 6、电隔离电子元件可避免杂散电流

• 7、滑动排放模式，避免在切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象

• 8、设定点继电器

• 9、明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面

• 10、模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

• 11、可与 VGC50x 控制器系列配合使用

• 12、向后兼容 TripleGauge® BCG450

• 13、符合 RoHS 规范

典型应用：

• 1、半导体制程、传输和负载锁定室中的压力测量

• 2、工业镀膜

• 3、低真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

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