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            EDWARDS复合涡轮分子泵

            简要描述:BOC Edwards EXT泵适用于除zui苛刻的半导体应用和科学应用(这些领域可使用STP系列泵)以外的任何领域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁悬浮轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点,以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

            • 产品型号:EXT406PX
            • 厂商性质:代理商
            • 更新时间:2025-06-18
            • 访  问  量:5114
            • 产品资料:

            详细介绍

            品牌Edwards/爱德华产地进口
            加工定制

            BOC Edwards EXT406PX泵

            性能特点

            真空系统简单

            * 可以选用较小的前级泵。

            * 降低真空系统体积与功耗。

            * 前级压力在8mbar就可启动,入口负载可达2E-3 。

            * 前级压力在8mbar就可启动,入口负载可达2E-3 。

            * 前级压力为17mbar时,还可维持正常转速。

            非常适合于与隔膜泵联用,特别适用于抽H2。

            兼容24v DC Edwards TIC涡轮控制器或涡轮仪表控制器。

            * 也可使用用户自己的24V DC电源。

            技术数据


            入口法兰          DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

            压缩比

            N2

            >1 x 10E11

            He

            1 x 10E6

            出口法兰(前级泵口)

            DN25NW

            前级泵(推荐)

            XDS10或RV12(或其它更小的,依应用而定)

            放气口

            1/8 inch BSP

            吹扫净化口

            1/8 inch BSP

            zui高入口压力(空气) *



            水冷(水温15°C,大气温度40°C)

            0.008mbar


            空冷(大气温度35°C)

            0.012mbar

            额定转速

            60000 rpm

            转速达到90%所需时间 **

            285 s

            冷却方式

            空冷/水冷

            大气温度(空冷)

            5-35 °C

            冷却水zui低流速(水温15 °C)

            15 l/h

            水温范围

            10-20 °C

            入口法兰zui高温度

            100 °C

            工作姿态

            垂直

            噪音(1m处)

            <45 dB(A)

            zui大磁场

            5 mT

            静止功耗

            25~40 W

            EXT406PX涡轮分子泵安装尺寸

            A EXDC控制器

            B 前级泵口

            C 罗茨泵口

            D 吹扫净化口

            E 放气口

            F 接地


            EXT406PX涡轮分子泵特性曲线



            订货信息


            描述

            货号

            EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN100ISO入口法兰

            B760-31-991

            EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN100CF入口法兰

            B760-32-991

            EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN160ISO入口法兰

            B760-41-991

            EXT406PX 复合涡轮分子泵 DN160CF入口法兰

            B760-42-991

            EXDC160 24 V

            D396-46-000

































































































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